Coherent相干深圳全新应用实验室正式启用

12月1日，相干公司（Coherent）全新升级的准分子激光器测试平台正式入驻深圳应用实验室。为了让市场更好地了解准分子激光器的特点以及深圳应用实验室，包括本刊在内的多家行业媒体、相干客户应邀参加了本次活动。

■相干公司深圳应用实验室办事处

“深圳是中国微电子行业的核心，也是相干中国重点发力的市场。感谢大家和我们共同见证相干应用实验室正式落地，也欢迎大家以后在这里和我们一同交流研发创新，探讨应用挑战，助力激光光学在工业应用的蓬勃发展！”活动开幕典礼上，相干公司副总裁、中国区总经理陈寅飞先生如是说。

值得一提的是，相干公司高级副总裁，微电子及仪器事业部欧洲总经理Chris Dorman及相干公司副总裁，准分子激光器事业部总经理Kai Schmidt也在线表达了公司总部对此次庆典活动的祝贺。“中国市场对相干公司和微电子事业部来说都非常重要，随着5G技术的发展和显示技术的进步，对于激光技术有了更复杂的要求。相干公司在中国做出了巨大投入。”Chris Dorman在祝贺中提到。

活动现场，相干公司展示了准分子激光器，其具有深紫外波长、高脉冲能量等技术特点，凭借超高稳定性的产品优势被广泛应用于平板显示、精密加工、医疗、汽车等大规模工业化加工当中。

当前，准分子激光器在Micro-LED领域具有出色的应用潜力，凭借短波长、短脉宽、高功率、高能量的独特优势，非常适合加工Micro-LED制造中常用的III-V族材料系统。

■相干公司深圳应用实验室办事处

相干公司提供从激光器、子系统到完整加工设备的全套解决方案，支持Micro-LED制程中的剥离、巨量转移和修复工艺。据了解，相干公司的准分子激光剥离（LLO）设备可实现每个激光脉冲处理多达上万颗晶粒，最高精度可达微米量级。此外，只有准分子激光技术可以满足透明PI材料的激光剥离工艺要求，在可预见的未来，准分子激光将继续引领最先进的激光剥离方案。

此外，相干公司开发出类掩膜的方式对Micro-LED进行巨量转移（LIFT），转移速度高达每秒数万颗LED，配合独有的高精度光学器件能实现2μm间距的高精准加工。

除了显示领域，准分子激光器还在医疗、半导体、汽车、新能源、科研等领域同样有很大的市场潜力。从半导体光刻（先进封装微通孔）、激光原位角膜磨镶术（LASIK），到脉冲激光沉积、光纤光栅刻写、准分子激光剥蚀等，准分子激光器已成为各应用领域的重要加工工具。

活动期间，相干公司的工程师还展示了性能优异的超快激光器，设备可精准加工5G技术中采用的各种新材料和柔性OLED切割，以及钻孔、切割、焊接等各种先进激光加工解决方案。

据悉，未来相干深圳应用实验室将以全新面貌打造显示科技孵化地，通过及时的技术反馈和专业的应用探讨，用激光助力国内印刷电路板的精密加工，引领5G智造新时代。