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Santec 的VCSEL扫频光源 HSL-1,是一款单模高速波长扫描光源。其实现了卓越的量产性、高可靠性、低功耗。该款光源是由半导体工艺制造而成的,具有集成的设计理念,小巧、高效的整体设计,使得系统坚固、可靠,适用于量产。另外在性能方面,由于是单模激光、其具备长相干长度、高速扫描、低噪声性能,是SS-OCT的理想光源。
Santec 的扫频激光器 HSL-20,是一款基于MEMS技术的集成扫描激光器。具有高速扫描、长相干长度和宽扫描范围等特性,与其他激光器相比更小型化,是一款可进行高速扫描的波长范围1310nm的光源。可实现100kHz稳定的高速扫描,还内置了K-trigger 和启动触发器,用于系统同步。
Santec的晶圆厚度测量系统TMS-2000可以测量晶圆的平整度,重复性可达1nm。传统的晶圆厚度测量技术,在极端温度变化和振动等不稳定环境中使用时存在精度问题,而TMS-2000具有较高的环境稳定性。TMS-2000实现了小型化、高速测量,可用于涉及在线检测的各个工业领域。
Santec 的3D光学轮廓仪OPS-1000,支持研发和生产环境,能够提供快速、精准和宽范围的3D物体扫描。具有高灵敏度,最小光探测灵敏度为100dB。系统动态范围>70dB,可实现非接触、高速高精度测量。OPS-1000配有独特的数据采集软件,该软件基于Windows®,便于测量。该软件还可以提供三维点云数据和三维光强度数据。该产品可根据客户的需求进行定制化。
Santec 的SS-OCT系统(IVS系列),基于利用光学相干层析成像技术,是一种非侵入、非接触微米级分辨率的成像技术。利用光学相干断层扫描来获得被测物体内部数据。该系统可对被测物进行实时无损测量,广泛应用于生物医疗以及工业检测等领域。SS-OCT系统主要以高速扫频光源、干涉仪、探头、数据采集卡、平衡探测器、配套软件组合而成。