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图片来源 / 豆包
3月25-27日,SEMICON China 2026在上海盛大举办。作为全球半导体产业风向标,本届展会清晰呈现:先进封装已从“补位技术”跃升为算力竞争核心战场,在AI大模型、HBM、Chiplet规模化落地的驱动下,2.5D/3D堆叠、混合键合、CPO硅光互连、晶圆级封装成为主流方向。设备、材料、封测、设计全链条协同创新,国产设备从单点突破迈向体系化突围,全球产业正以异构集成作为核心路径重构先进封装格局。
Part 1
行业核心趋势:先进封装成为算力时代“必答题”
异构集成成为技术主线。摩尔定律放缓,单芯片微缩逼近物理极限,通过封装实现性能倍增成为行业共识。2.5D/3D堆叠、Chiplet芯粒集成、异质芯片整合全面走向量产,有效提升算力密度、降低功耗、缩短研发周期,成为高性能计算、AI服务器、数据中心的底层支撑。
HBM与CPO双轮驱动封装升级。HBM封装成为增长最快赛道,对键合精度、散热能力、互连密度提出更高要求;CPO(共封装光学)将光引擎与计算芯片集成,突破带宽瓶颈,成为下一代数据中心标配技术,倒逼封装向更高密度、更低损耗、更高可靠性演进。
车规与AI双重标准协同推进。 先进封装快速从消费电子向汽车电子渗透,车规级可靠性(含高温高湿稳定性、长寿命)成为标配。AI芯片则追求极致算力、低时延与高良率,两类需求共同推动封装工艺向高密度、高集成、高稳健三重目标协同升级。
设备投资占比持续提升。先进封装技术壁垒高、设备投入大,已成为半导体资本开支增长主力。键合、沉积、电镀、清洗、检测五大环节同步扩容,设备国产化率提升与全球供应链重构并行推进。
Part 2
技术进展:高密度、高精度、高良率成为核心追求
本届展会上,全球企业集中展示新一代封装工艺,呈现三大技术特征:
互连微缩化。互连间距持续降低,混合键合进入亚10μm时代,支撑3D堆叠层数提升。
制程晶圆化。扇出型晶圆级封装(FOWLP)规模化应用,面板级封装加速进入产业化关键期,以更高产能、更低成本打开市场。
前后道融合。前道工艺向后道延伸,晶圆级工艺下沉至封装段,提升良率与一致性。
在关键设备领域,国内外龙头同台竞技,技术突破集中落地。北方华创(NAURA)展示了其12英寸高端刻蚀设备、PVD(物理气相沉积)设备以及热处理设备的全套解决方案。拓荆科技推出涵盖熔融键合、激光剥离等3D IC系列新产品,产能与良率双提升,填补国内高端键合设备空白;低介电薄膜沉积、PECVD设备全面覆盖先进封装薄膜需求,构建一站式工艺能力。盛美上海以行星系列产品覆盖湿法清洗、电镀、涂胶显影全流程,其Ultra ECP电镀设备在铜互连、锡银凸块电镀等工艺中实现国产替代,为国内封测厂提供了高性价比的选择。
检测环节同样关键,中科飞测推出三维凸点与键合界面检测设备,实现微米级量测;诺信、BTU等在流体点胶、热制程上持续优化,保障良率与稳定性。
此外,国际厂商持续领跑高端。ASMPT带来其最新的固晶机与焊线机,特别是面向2.5D/3D封装的AMICRA®系列高精度固晶设备,可实现±1微米以内的贴装精度,为Chiplet的精密互连提供设备保障。Kulicke & Soffa(库力索法)与BE Semiconductor(BESI)分别在焊线封装与高精度贴片领域展示了最新技术,满足从传统封装到先进封装的多样化需求。
基于SEMICON China 2026参展企业的产品与技术,荣格电子芯片认为,中国先进封装设备已进入规模化突破期,呈现四大鲜明特点:
关键环节全覆盖。在清洗、电镀、沉积、键合、涂胶显影、检测六大核心设备领域,国产均实现可供应,不再依赖单一进口渠道。
从可用迈向好用。国产设备在稳定性、产能、自动化、良率上显著提升,逐步进入高端产线,从替代低端设备向切入高端制程推进。
平台化与系列化。头部企业从单机供应商转向整线解决方案提供商,提供多工艺组合、跨制程兼容的设备平台,适配客户柔性生产需求。
全球供应链切入。以盛美上海、拓荆科技为代表,国产设备批量进入海外OSAT与IDM供应链,标志技术与品质获得国际认可。
展望未来,先进封装已不是“可选项”,而是算力时代的“必答题”。异构集成全面普及,Chiplet、2.5D/3D成为高端芯片标配,混合键合快速渗透。CPO与HBM同步爆发,带动封装设备、材料、检测需求持续高增。国产设备份额持续提升,从单点突破到整线替代,支撑中国半导体自主可控。先进封装将持续驱动算力升级,赋能AI与新能源产业。

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