供需大厅

登录/注册

公众号

更多资讯,关注微信公众号

小秘书

更多资讯,关注荣格小秘书

邮箱

您可以联系我们 info@ringiertrade.com

电话

您可以拨打热线

+86-21 6289-5533 x 269

建议或意见

+86-20 2885 5256

顶部

荣格工业资源APP

了解工业圈,从荣格工业资源APP开始。

打开
荣格工业-圣德科

新品首发|ATH 4506 M 涡轮分子真空泵

来源:普发真空 发布时间:2026-03-13 141
汽车制造自动驾驶&车联网智能制造电子芯片半导体工艺设备半导体封装设备半导体测试设备电子制造服务(EMS)/系统集成 产业动态
ATH 4506 M涡轮分子泵搭载集成控制器实现即插即用,提供非加热与TMS温控(最高90°C)双版本适配洁净涂层及半导体腐蚀性工艺

 

即插即用更便捷 高效节能双在线

ATH 4506 M 搭载集成控制器,无需额外配置独立外部控制单元,大幅简化安装流程,同时节省系统设置空间,让设备快速融入现有生产线。

 

工艺适配温控系统 精准护航稳定生产

不同工艺对设备运行温度的需求各不相同,为此 ATH 4506 M 量身打造两种版本,精准匹配各类需求:

 

•非加热版本:适配洁净、无腐蚀性的应用场景,无需额外加热,如大面积涂层工艺。

•TMS 温度管理版本:最高温度可达 90°C,适用于半导体制造及其他腐蚀性工艺,适度加热有效防止冷凝和颗粒生成。

 

通过匹配工艺的温度需求,ATH 4506 M能有效减少泵内冷凝和颗粒堆积,降低部件磨损,避免意外停机,从而提高设备可靠性和产品质量,帮助企业降低成本、增强竞争力。

 

状态检测与数字化集成 运维管理更省心

ATH 4506 M 内置传感器,可实时监测温度、转速、吹扫状态和运行情况。操作员能随时掌握设备状态,及早发现异常并处理,避免意外停机,为预测性维护提供支持。

 

同时,它支持物联网(IoT)功能,可接入数字监控系统,轻松集成到自动化生产线,减少人工维护,提升管理效率。

 

此外,ATH 4506 M 拥有 IP54 防护等级,防尘、防溅水,能适应恶劣工业环境,延长设备使用寿命,保障生产稳定运行。

 

最后,一年一度的行业盛会 SEMICON China 2026 倒计时开启!今年,我们带着全新的 ATH 4506 M 涡轮分子泵与您相约上海,欢迎大家莅临参观。

展会预告 SEMICON China 2026

 

时间:2026 年 3 月 25 日 – 27 日

地点:上海新国际博览中心

展位:N3 - 3000

关注微信公众号 - 荣格电子芯片
聚焦电子芯片制造领域的技术资讯、企业动态以及前沿创新,涵盖半导体、集成电路、贴片封装等多个行业领域的解决方案。
推荐新闻