驾驭毫厘温差：台达模块化温控器DTDM系列以卓越控温能力赋能半导体高端制造

在全球半导体产业链重构、国产替代加速推进的关键时期，精密控温作为半导体加工的“生命线”，直接决定芯片良率与设备稳定性。台达作为全球工业自动化解决方案领导厂商，深耕行业50余年，在半导体制造、新能源、精密电子等高端制造领域，以高效可靠的解决方案助力客户实现智能化转型与可持续发展。

公司最新推出的高精度模块化温度控制器DTDM系列，针对精密加工控温痛点打造，为半导体等高端制造行业提供稳定高效的控温支撑，助力企业突破技术瓶颈。

Part 1

模块化设计，解锁精密控温新高度

台达DTDM系列高精度模块化温度控制器，专为此类精密制程量身打造。其采用高度集成的模块化硬件架构，且具备出色的弹性扩展能力，支持高达32组PID控制通道和128个输出输入，单一DTDM群组最多可串接8台测量机和8台I/O扩展模块；同时其薄型精巧化设计可实现弹性配置，有效减少设备控制柜安装空间，适配高集成度半导体设备。

核心性能上，可实现±0.1%以内高精度温度量测，搭配10ms高速采样周期，实时捕捉温度细微变化，筑牢精密控温基础。

该系列产品原生支持EtherCAT高速通信协议，结合总线数据汇集功能，能够将温控模块的内部状态与工艺数据实时、高速上传至上位系统，极大方便了设备扩展与全厂集成，为构建智能化、网络化的现代生产线奠定了坚实根基。

DTDM系列能够全面满足复杂精密温控工艺的需求，尤其适用于半导体晶圆加工设备，如化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、氧化扩散炉、蚀刻机、原子层沉积系统（ALD） 等，同时也可广泛应用于精密电子制造、高端实验仪器等多个需要严格温控的领域。

Part 2

直击行业痛点，DTDM的核心解决方案

行业数据显示，2024年中国半导体设备市场规模已高达318亿美元（数据来源：SEMI），持续领跑全球市场。在此背景下，精密温控系统的性能与国产化水平，直接关系到芯片制造的良率保障与供应链安全。台达DTDM系列凭借其核心技术优势，精准应对以下行业痛点，提供覆盖全流程的温控解决方案：

• 应对温度波动，提升良率：半导体加工对温度稳定性要求极为严苛，微小波动即可能导致芯片性能偏差。DTDM凭借±0.1%的高精度测量、14点温度校正折线表及前馈控制算法，有效补偿传感器非线性误差，预先抑制已知工艺扰动，将温度波动严格锁定在工艺窗口内，显著提升晶圆加工的一致性与良率。

• 应对特定场景，串级控制提升控温精度：加热系统的热惯性易导致温度响应迟缓与超调，影响如掺杂浓度均匀性等关键工艺结果。针对于此，DTDM采用PID串级控制，通过内外环协同运算大幅缩短调节时间，结合10ms高速采样，实时跟踪温度变化，快速消除滞后影响，确保升温曲线平稳精准，保障掺杂浓度等关键工艺参数的均匀性。

• 简化多区控温，降低成本：针对多加热区设备（如大型陶瓷加热板）面临的协同控温复杂、传感器布设成本高昂的难题，DTDM系列展现出卓越的灵活性。其核心在于高度弹性的模块化设计：单系统可支持多达32组独立PID控制通道与128个I/O点，一个控制群组最多可串接8台测量机与8台I/O扩展模块，通道配置可自由规划。其独有的一对多控制功能，允许单一传感器按比例控制多个加热输出，大幅减少传感器数量与安装成本。配合多通道PV比较警报，实时监控各区间温差，确保大面积加热的均匀性与稳定性。

• 保障测量可靠，应对故障：针对传感器在宽温区测量不准或突发故障的风险，DTDM具备输入切换与冗余功能。它可在-200°C至1800°C的宽广范围内自动选择最佳量程传感器，并在单一传感器故障时无扰切换至备用通道，彻底杜绝因测温失效导致的控温偏差与设备损毁。

• 加速系统集成，推动智能升级：为破解系统集成复杂、调试周期长的痛点，DTDM原生集成EtherCAT高速网络，通过双端口通信模块可实现无缝串联组网，无需额外交换机。同时，内置的状态数据库可实时获取PV、SV、MV、DO等关键状态信息，并支持选择其中4种数据在控制器本地进行预定义逻辑运算与输出，既提升了实时响应速度，也显著降低了上位机运算负载，从而大幅缩短系统调试与集成周期。

此外，相比进口设备常见的交付周期长、成本高、本地适配性弱等问题，DTDM系列充分发挥国产化与模块化定制优势，可根据国内客户的特定需求快速灵活配置，在保证性能的前提下，实现更短交付周期、更优成本控制与更佳适用性，为半导体设备国产化替代提供坚实助力。

Part 3

以精密控制，定义制造新标杆

台达高精度模块化温度控制器DTDM系列，不仅是一个温度控制产品，更是一套面向未来智能制造的精密温控系统解决方案。

它从测量精度、控制算法、系统架构到数据交互的每一个环节都精益求精，直指高端制造业在提升良率、保证一致性、实现柔性生产与数字化管理过程中的核心诉求。在半导体技术不断逼近物理极限、先进制造日新月异的今天，台达DTDM系列以卓越的精密控温能力赋能半导体高端制造行业。