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台达高精度模块化温控器DTDM系列耀世登场

来源:台达 发布时间:2026-03-06 74
智能制造传感器机器视觉运动控制软件及平台工业互联智能加工设备智能制造解决方案 产业动态
台达推出高精度模块化温控器DTDM系列,聚焦半导体制造场景的温控精准性需求。

 

在半导体芯片的精密制造场域里毫厘温差,足以定义成败

每一次沉积、每一道蚀刻

温度曲线的轻微扰动,都可能影响最终良率与品质

谁来为高端制造,筑牢“温度”这一生命线?

今日,答案揭晓——

 

凭借对精密制造场景的深刻理解与技术积淀

台达正式推出高精度模块化温控器DTDM系列

 

 

直接痛点

守护半导体制造“温度生命线”技术

 

满足多区加热需求

通过灵活构建多达32路的独立温控单元的独特优势,为半导体加工解决从紧凑型设备到大型多区加热系统的全方位需求。

 

温控精准可靠

集前馈补偿、PID串级、14点温度校正于一体,不仅能快速响应,更能预见干扰,实现真正的稳定与精准。

 

智能可靠守护

一对多控制:在需要多点控温的场景,仅通过单一测温点的温度信息,即可以自订比例的方式实现多通道的加热控制输出,大幅提升效益。

 

输入冗余切换:传感器故障瞬间无扰切换,保障生产零中断。

多通道温差监控:实时比对,异常温差即刻预警,确保工艺均匀性。

 

无缝数字集成

内置状态数据库与逻辑运算能力,是连接设备层与信息层的智能节点,让数据流动更顺畅。

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