上海微电子1.1亿中标科技部采购光刻机项目

12月25日，中国政府采购网公告显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标步进扫描式光刻机项目，设备数量为1台，中标金额约1.1亿元。据此前公告，招标方为科学技术部。

中标（成交）信息显示，中标货物名称为步进扫描式光刻机，货物型号为SSC800/10，其中“SSC”为首次公开的光刻机型号代号。

据了解，11月7日，中国政府购买服务信息平台发布《科学技术部zycgr22011903单一来源采购步进扫描式光刻机征求意见公示》。该项目采用单一来源方式采购，预算金额为1.13亿元。

在单一来源采购专家论证意见表中提到，步进扫描式光刻机具备高分辨率光学成像能力（分辨率≤110nm）和优异的套刻精度（≤15nm），可支持微米乃至亚微米级结构的高均匀性、高稳定性加工。

公开资料显示，上海微电子装备有限公司隶属上海电气集团，2009年首台先进封装光刻机产品SSB500/10A交付用户，2018年公司宣布90nm光刻机项目通过正式验收，2021年9月，公司宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机，主要应用于高密度异构集成领域。2022年2月，上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。今年5月，上海微电子已经官宣实现90nm ArF光刻机的量产。