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我国首台极紫外波段物质吸收谱台式化仪器成功研制

来源:科创服务部 发布时间:2025-11-10 49
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国际领先的极紫外波段(5-20nm)物质吸收谱台式化仪器有望为我国半导体等战略新兴产业发展提供强大助力。

据安徽人工智能产业先导区官微消息,11月4日,安徽国科量光技术有限公司在安徽人工智能产业先导区(AI模立方)举行“极紫外波段物质吸收谱台式化仪器”新品发布会。

 

国科量光主要产品是紫外至X射线波段(含深紫外、真空紫外、极紫外、软X射线波段)的高亮度小型化光源,吸收谱、光电子谱、短波长显微成像科研仪器,以及面向工业生产线的原位检测设备;并提供对应波段的检测服务。

 

据悉,本次发布会正式推出了国际领先的极紫外波段(5-20nm)物质吸收谱台式化仪器,标志着我国在高端科学仪器领域取得重要突破。该产品利用激光等离子体技术成功实现了高亮度短波长光源的台式化;该产品可规模化批量生产、占地面积小、造价较低的优势对传统同步辐射大科学装置提供了有益的补充。该产品有望为我国半导体、新材料、新能源等战略新兴产业的发展提供强大助力。

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