半导体级高纯 PFA 诞生！ALFA 以创新 “智” 造，赋能半导体芯片先进制造

2025年3月6日，中国领先的高端氟塑料管路供应商阿尔法新材料（辽宁）有限责任公司（简称“ALFA”）在辽宁省朝阳市经济开发区隆重举办新品发布会，正式推出半导体级高纯PFA管路产品。新产品是ALFA与科慕集团共同协作的成果，双方将科慕的顶级PFA原料与ALFA自主洁净挤出技术深度融合，实现了半导体级高纯管路国内批量投产，打破了国内先进制程芯片生产用高纯PFA管路依赖进口的困顿局面。

在现代半导体芯片的先进制程中，晶体管尺寸已经达到了纳米级别，比大多数污染颗粒还要小，任何金属离子、微粒或化这物质进入晶圆表面，都可能会导致短路或断路，影响电流流动，或者蚀刻不均匀，导致电路结构异常，或者晶体缺陷，影响芯片寿命。芯片制程越小，芯片越先进。芯片越先进，制造工艺中各维度的纯净性要求越高，关键工艺对高纯材料的依赖就越高。高纯气体、高纯水、高纯湿电子化学品都需要高纯PFA管路进行输送。高纯PFA管路系统是半导体制造过程中不可或缺的重要组成部分，能有效减少污染，提高芯片良率。在先进制程不断发展的背景下，高纯PFA管道的重要性将愈发突出，并成为提升半导体生产效率和质量的关键保障。

中国在先进制程芯片（如14nm、10nm、7nm、5nm、3nm及以下）制造方面，面临诸多技术难点和挑战。至2024年底，至2024年底，中国大陆地区半导体行业生产用设备、材料、关键零部件等整体国产化率不足23%。长期以来，国内先进制程所需的高纯PFA管路主要依靠进口。为了实现解决高纯PFA管路卡脖子的问题，实现国产化，ALFA携手科慕，采用科慕顶级951HP Plus PFA原料制成高纯PFA管路，通过了SGS实验室 SEMI F57测试，满足半导体先进制程的需求，在输送液态工艺用化学品、清洗液、蚀刻液等超纯化学品方面表现卓越。

科慕大中华区业务总监张力仁在发布会上表示：“ALFA朝阳工厂，每一寸洁净车间、每一米通过SEMI F57双认证的高纯PFA管线，都在诠释“全球标准，中国智造”的含金量。”

ALFA高纯PFA管路，半导体产线的“黄金血管”，实现了： 

• 纯度等级突破：金属离子析出量低于0.1ppb，达到SEMI F57国际标准，确保晶圆制造全程“零污染”。
• 耐腐蚀性升级：可耐受强酸、强碱及有机溶剂，在180℃高温下性能稳定，寿命较传统产品提升3倍
• 柔性设计优化：内壁光滑无死角，弯曲半径缩小30%，适配精密设备复杂管路布局需求。 

ALFA董事长孟凡新在发布会上表示：“在半导体产业迈向更高精度、更先进制程的征程中，我们推出了半导体级高纯PFA管路系统。我们与全球材料科学领军者科慕公司深度合作，采用科慕顶级951HP Plus PFA原料，使得ALFA高纯PFA管性能获得了革命性的提升。我们将以技术为引领，树立行业新标杆，让管路与未来同行，为中国的科技创新之路贡献力量。”