镀膜质量一小步 太阳能电池能量转换一大步 | 对话通快霍廷格电子

“双碳、绿色、可持续发展”正在成为全球共识，这也令可再生能源产业再次进入大众视野。以太阳能光伏为例，曾一度被政策红利裹挟而成为红海的光伏发电热，就在近几年终于“站”起来了。一夜间，光伏电价追平网电的消息不胫而走。与此同时，太阳能电池技术的迭代大幕也加速开启——从PERC单晶电池，到HJT、TOPCon，以及IBC等N型电池技术等，制造商们聚焦获得更高的能量转换效率和更长的使用寿命，以实现光伏发电成本的进一步降低。

而在生产晶硅和薄膜式太阳能电池时，通常借助溅射、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等工艺涂镀基底材料。涂层镀膜的质量越好，往往太阳能电池的能量转换率就越高。其中，等离子体电源产生的精准恒定能量就对镀膜质量有直接影响。

近日，通快霍廷格电子（TRUMPF Hüttinger）携其针对光伏领域的前沿等离子体电源TruPlasma VHF、TruPlasma DC、TruPlasma Bipolar和TruPlasma RF产品，以及其他先进产品和相关技术亮相2024 SNEC光伏展。展会期间，通快霍廷格电子亚洲董事总经理 Dariusz Czaja（戴睿士）、通快霍廷格电子研发及应用总监陈佳磊接受本刊采访，就公司在中国乃至亚洲的战略布局，以及太阳能电池市场技术走向分享了洞察。

有备而来，只做一件事

作为世界领先的等离子体电源制造商，通快霍廷格电子致力于开发、制造用于各种沉积和干法刻蚀工艺的等离子电源，在电源领域拥有一百多年的经验积累。

在光伏领域，通快霍廷格电子主要为太阳能电池片生产中的功能性涂层和镀膜工艺提供支持。其等离子体电源产品组合具有广泛的功率与频率范围，凭借其出色的精度、能效和工艺稳定性，倍受行业头部光伏电池制造商的青睐，市场份额保持行业领先。

“在太阳能电池的生产过程中，涂层镀膜的质量发挥着关键作用。镀膜的结构越好，太阳能电池组件能够实现的能源转换效率就越高。”Dariusz Czaja告诉我们，“通快霍廷格电子的高科技等离子体电源产品可以显著提高镀膜的质量。同时，我们的等离子体产品还具有广泛的功率和频率范围，能够实现精确的电源输出控制和电弧管理 。此外，我们的产品也拥有着非常出色的能效和工艺稳定性——这两个特点也是我们等离子体电源解决方案能在市场上遥遥领先、受到头部太阳能电池制造商青睐的关键。”

陈佳磊在随后补充道，“深耕光伏行业多年，我们看到了有很多新技术在发展，我们自身亦在不断地更新功能和新产品。”他提到，通快霍廷格电子主要从三个方面进行产品研发、支持行业发展——高效率；低成本；适配到整个行业以及技术的发展。

当然，现在市面上有很多不同的技术发展方向，比如像TOPCon、HIT、钙钛矿、碲化镉等，甚至一些相对偏门的CIGS（第三代太阳能电池）等技术。“但从电源角度，我们认为不管是哪一种技术，在支持并推动行业发展方面都有共性。其一，从产品输入的精确性和稳定性角度来看，电源作为跟等离子体直接相关的功率器件，输出的精确性和稳定性直接关系到产品最终结果的稳定性。其二，电弧管理。等离子体的稳定性一定是最高优先级要控制的工艺过程。电弧是等离子体相生相伴的工艺难点，所以在电弧控制方面，我们要下更多功夫来适配到最终工艺。其三，客户设备的匹配度，能够减少客户产品的使用成本，同时确保客户可以更简单、更容易把设备使用起来，以降低他们的研发成本和制造成本，更好地支持到客户的设备以及供应。这三个方面是我们现在新产品研发的主要方向和核心要点。”

全系列电源产品赋能太阳能电池技术迭代

“同时，作为部件厂商还必须要有更快的速度，不仅是跟上行业进步，更多是要从部件角度如何更好地提供支持。这就需要我们有更快的技术迭代，同时也要求我们有更强的技术背景和技术储备。” 陈佳磊笑称，从这个角度，通快霍廷格电子有着“得天独厚”的优势。“首先，我们拥有全系列的产品——无论是什么样的太阳能电池技术，需要怎样的电源产品，我们都能很好地支持到客户。”

以HIT异质结电池为例，其主要的两个等离子体相关的工艺就是PECVD片结的生长和PVD透明导电膜的生长。“PECVD整个行业目前趋势是高功率和高频率，我们已经在电源的性能、相关功能性以及产品平台化方面做了很多提前的布局，能够适应到客户高功率、高频率以及高稳定性的需求。PVD对于设备的需求和其他行业的需求则是完全不同的，需要照顾到在成膜过程中不能损坏PN结等一系列要求。在这方面，通快霍廷格电子已经有成熟的产品（如：低电压高电流的溅射电源）和新的解决方案（如:RF+DC共溅设备等技术解决方案）。”陈佳磊透露。

针对钙钛矿电池，其与等离子体相关的工艺就是高阻性靶材的溅射，“我们除了有相关产品能够支持射频溅射工艺之外，还在做数字化模拟，以达到在射频磁控溅射方面最理想的工艺效果。”

另一个优势是本土化，“作为一家德企在中国，我们的口号是‘Made in China for China’，通过本土化更好地支持到中国客户。”自2006年以来，通快霍廷格电子就在中国开始生根发芽，并在随后不断提升自身在中国的服务能力，目前已拥有应用中心、维修中心、电源和配线机生产中心。“除了聚焦产品本身的质量与效率，我们对服务同样重视。2023年，我们在太仓建立了通快霍廷格电子继德国弗莱堡、波兰之后的全球第三座生产制造基地，整体面积有8,000多平方米，布局了生产制造、应用中心、服务中心、研发及工程中心等，能够为中国客户，甚至是整个亚洲市场的客户，提供更完整的解决方案。”在Dariusz Czaja看来，中国新工厂的目的之一是要更靠近客户，聆听客户声音，知道他们的需求，并能够立刻反馈给他们、并提供支持。

第三个优势，从产品本身，通快霍廷格电子也更多地围绕着节能、产品可靠性、产品稳定性以及功能性，来进行更深入的研发和产品发展。

锚定高质量发展 坚持长期主义

采访的最后，谈及太阳能光伏市场正在经历的新一轮周期性调整，Dariusz Czaja称仍看好光伏产业的未来发展，“太阳能作为清洁的可再生能源，对于减缓气候变化具有重要意义，相信其市场增长潜力还将进一步释放。”

据介绍，在早期，通快霍廷格电子的重心更多是投放在欧洲市场的发展。随着中国市场地不断壮大，公司也慢慢将更多注意力转向中国和亚洲市场的发展。去年12月左右，公司在日本仙台开设了全新的技术中心。同时，还计划在今年第四季度于马来西亚成立新的技术中心。未来也将继续在中国市场投资深耕。

据他透露，在过去5年间，通快霍廷格电子全年的年复合增长率达到了30%。“在光伏市场上，我们一直处于行业头部。而随着越来越多的企业加入到光伏赛道，为了保持继续领先，我们注重于‘高质量发展’，同时也注重光伏产业的长期发展，以及能为客户所带来的长远利益。与我们自身的追求一样，我们同样也希望客户能通过我们的产品和技术实现更多技术创新和更高的成本效益。”

此外，高质量发展除了产品耐用性的方面增强之外，当然也涵盖了低碳、绿色、创新、开放、共享等多个方面。Dariusz Czaja坚信中国的光伏产业正逐步迈入“高质量发展”的道路。