一文科普ASM的碳化硅（SiC）外延沉积工艺设备的技能点

材料科学有突破

条条大路通罗马

在汽车行业电气化进程加速发展的今天，半导体材料在能效管理上屡次升级，已从硅材料升级过度到了碳化硅（SiC）材料。

2022年，ASM成功收购了位于意大利的碳化硅（SiC）外延反应器制造商LPE。目前ASM主导研发的碳化硅（SiC）外延设备可使电动汽车的碳化硅（SiC）器件具备更持久的电池使用寿命和续航里程。

节能降耗有新途

分分秒秒增能效

凭借前沿的外延工艺水平，ASM可利用碳化硅（SiC）工具将碳化硅材料精确地沉积在裸基板上。由于碳化硅（SiC）材料的带隙更宽，并拥有高击穿电场、高电子饱和速率等先进“技能点”，可大幅度减少组件尺寸和重量，从而缩短电池充电时间。

新品投送有亮点

性能升级更周全

ASM碳化硅（SiC）外延产品线以单室外延设备PE106A/PE108 SiC和双室外延设备PE208 SiC为主。

PE106A

PE108 SiC

 ASM提供定制化的服务，并将持续关注半导体行业的创新需求，致力于提供更高效、更有竞争力的解决方案！