MKS携多款新产品亮相慕尼黑国际光博会

6月27-30日，2023慕尼黑国际光博会（LASER World of PHOTONICS 2023）在德国慕尼黑展览中心隆重开幕。展会聚焦整个光电行业，展示尖端科学技术。展品同时覆盖材料加工、测量检测与监控、光学数据传输及医疗激光应用等相关重要行业。在本次展会上，MKS携多款新产品亮相。

Spectra-Physics^® Vanguard One UV125

这是一款紧凑、一体化、准连续激光器产品，可提供>125mW的紫外功率。新型激光器采用风冷式工作，噪声＜1%rms，使用寿命长，成本低。Vanguard One非常适合应用于生物仪器，包括流式细胞仪、显微镜、细胞分选以及半导体晶圆检测。

Spectra Physics欧洲区总经理Jürgen Niederhofer表示：“Vanguard One是一款优异的的激光器，可满足生物仪器和工业应用对紫外激光的苛刻要求。基于我们在半导体市场上数十年的经验和久经考验的技术，这种新型激光器提供了生物仪器所需的高性能和可靠性。”

Vanguard One UV125基于非常成功的Vanguard产品系列，是一款一体式激光器，将电子器件、激光腔和冷却部分集合在一个外壳中，便于集成于台式机器中。准连续波操作确保高荧光信噪比，同时也防止生物仪器中的细胞损伤。激光固件实现闭环功率控制，确保长期稳定性，功率变化小于2%，确保测量结果的一致性。Vanguard One激光器通过了广泛的环境鉴定测试，具有高可靠性和低拥有成本，适用于生物仪器和要求苛刻的工业应用。

Spectra-Physics^® IceFyre^® FS IR200激光器

这是一种工业飞秒激光器，提供>200W功率和>200µJ脉冲能量，超短<500fs红外（IR）脉冲。新型激光器具有良好的性能和灵活性，提供从单次发射到50MHz的宽重复频率范围，TimeShift可编程脉冲串模式，按需脉冲（POD）和位置同步输出（PSO）触发。IceFyre FS IR200是先进电子产品、显示器、清洁能源、医疗设备和其他要求苛刻的工业应用中玻璃、聚合物、金属、蓝宝石、聚晶金刚石和许多其他材料的高速高质量微加工的理想选择。

Spectra Physics欧洲区总经理Jürgen Niederhofer表示：“新的IceFyre FS IR200激光器是我们引领行业的IceFyre FS系列的重要补充，将此系列优异的性能、多功能性和可靠性扩展到红外，新型激光器是MKS在苛刻的高产量、精密微加工应用的又一次令人兴奋的领导力展示。

正在申请专利的IceFyre FS IR200激光器建立在MKS深厚的经验和飞秒激光技术的基础上，每台IceFyre FS激光器都通过了广泛的环境鉴定测试，以确保高可靠性和低成本。全自动和计算机控制，全天候运行，在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性，为苛刻的应用提供了高精度和课可重复性。It’s in the Box设计将激光器和控制电路集成在一个简单易用的封装中。

Spectra-Physics^® CEP6 技术

该技术可提供先进的载波包络相位（CEP）稳定能力，在高度稳定的再生超快放大器中提供创纪录的低CEP噪声。与性能优异的Spectra-Physics Spitfire Ace超快放大器搭配适用，CEP6可产生>5mJ、<25fs的脉冲以及优异的CEP稳定性，在连续工作数小时内单次发射<100mrad（10次发射平均值）和<300mrad。CEP6具有良好的性能和稳定性，是尖端阿秒（10^-18秒）科学和高次谐波应用的理想选择。

Spectra Physics激光器副总裁兼总经理Herman Chui表示：“CEP6是一项了不起的创新，在久经验证的再生超快放大器中提供了创纪录的CEP稳定性，是推进阿科学重要领域发展的有力工具。作为超快激光器的引领者，Spectra Physics激光器继续推进行业的发展，而CEP6进一步增进了这一领先地位，并真正实现了技术突破。”

CEP6利用f-to-2f干涉仪通过Element 2倍频输出来测量载波频率。不同于传统的 CEP-stabilized振荡器利用产生的误差信号、通机械控制棱镜或调整泵浦激光输出反馈振荡器，正在申请专利的CEP6前馈方法降低了这一要求，并将技术扩展到再生放大器。这使得系统对外部扰动的敏感性显著降低，从而实现了数小时稳定、低CEP噪声运行。

Spectra-Physics^® Talon^® Ace UV100激光器

这是一款强大的新型脉冲纳秒激光器，以小尺寸提供引领前沿的>100W紫外功率和优异的性价比。新型激光器提供了优异的灵活性，包括TimeShift可编程脉冲功能和极其宽的脉冲重复率范围，以优化微加工工艺。Talon Ace UV100是先进电子封装、PC板、光伏、陶瓷、半导体和其他材料和组件的高速高质量微加工的理想选择。

SpectraPhysics副总裁兼总经理Herman Chui表示：“Talon Ace UV100是一项极其具有吸引力的创新，它在产量、质量和工艺灵活性方面提供了优异的性能，为全天候大批量激光制造提供高性价比。新激光器进一步稳固了我们在激光微加工方面的标杆地位，在我们非常成功的Talon紫外和绿光纳秒激光器系列的基础上，该系列激光器具有100W 紫外功率和我们独特的TimeShift可编程脉冲技术。”

Talon Ace UV100以最高的单模纳秒紫外功率（>100W）和>500mJ 脉冲能量引领行业。基于我们在高功率紫外纳秒激光器方面数十年的丰富经验，正在申请专利的Talon Ace UV100激光器在要求苛刻的全天候工业应用中表现出色。所有Talon Ace激光器都通过了广泛的环境鉴定测试，以确保高可靠性。Talon Ace UV100全自动和计算机控制，提供优异的光束指向稳定性，确保高精度、高产量和操作一致性。

以上新产品在6月27日至30日德国慕尼光电展上推出。欢迎现场观众至MKS展位A3.219参观现场演示。