法国科研人员开发全新玻璃微钻孔方法

近日，法国波尔多大学强激光与应用研究所（CELIA）的激光与物质相互作用研究小组开发了一种新的玻璃微钻孔方法，该方法使用“千兆赫兹脉冲”模式下的飞秒激光。

《国际极限制造杂志》描述了这一过程，该过程使用在千兆赫兹突发状态下运行的Amplitude飞秒激光来研究一种新的玻璃微加工方法，该方法允许钻取无锥度的细长孔，其内壁光滑，玻璃中没有任何裂纹。

使用飞秒激光的新玻璃微钻孔方法

通常，使用标准单飞秒脉冲的激光钻孔会产生长度有限且内表面粗糙的锥形孔。这种新的激光-物质相互作用机制允许在一个步骤中直接钻出高纵横比的孔，而无需任何化学蚀刻。激光脉冲参数的选择对于实现加工结构的卓越微加工质量非常重要。

飞秒激光GHz突发模式可能为微电子等新的应用铺平道路，其中硅插入器可能被玻璃插入器取代。飞秒激光在千兆赫兹脉冲串而不是重复的单脉冲中的工作状态使得能够与玻璃材料相互作用，同时具有两个优点：材料中的激光能量沉积分布在更长的时间内，从而产生高效、可控的累积状态。由此产生的自上而下的冲击钻孔提供了光滑内壁的无锥度、细长和无裂纹的孔。