法兰克福光电及激光展开幕，LZH呈现未来光学技术

10月18-20日，2022年德国法兰克福光电及激光展览会（OPTATEC 2022）在德国法兰克福会展中心举行。起始于1990年的法兰克福光电展，发展至今成为了工业光学界的国际领导级展会，也是光学工业制作商宣布新产品的理想场所，目前是国际光学领域最重要的专业贸易博览会之一。

法兰克福光电展的展览周期为每两年一届，展品范围包括光电领域和激光工业。其中，光电部分的展品有机械热力处理、光学传感器、光学测试测量及其应用、红外技术、uv技术、光电软件等；激光工业的展品涵盖激光器、光学信号传输、光学信号传输、激光系统元件。据主办方预计，今年展览面积达到19400平米，参展观众数量预计达到5600人，参展商数量及参展品牌有570家。

在本届展会上，德国汉诺威激光中心（LZH）展示了3种应用于未来工业的光学技术，分别是新一代沉积系统、微型滤波器、多半经BBM。届时，LZH光学元件部门的技术专家将介绍当前的研究活动及其服务和产品组合。根据介绍，今年LZH的研究重点是下面3个方面：

新一代沉积系统（Spatial ALD）：该系统实现了比以往更高的沉积速率，现在可以用于均匀地涂覆复杂形状的光学器件。这种能力在汽车照明和VR/AR领域的应用中很有吸引力。

微型过滤器：无论是在电信、量子技术还是生命科学领域，微型过滤器都有许多应用。无衬底薄膜滤光片的生产使得制造非常小和非常紧凑的光学元件成为可能，例如用于光子集成电路的光学元件。

多半径BBM：宽带监视器（BBM）允许光学元件精确、高效、重复的涂层。科学家们提出了一种新概念，采用多半径来改进过程控制。

ALD（atomic layer deposition，原子层沉积）技术可以生产非常薄的高质量涂层，目前ALD工艺主要用于生产半导体工业中的薄功能层。新的Spatial ALD系统是LZH与芬兰公司Beneq合作研发的。由于该系统是基于等离子的，它可以在低于100摄氏度的低温下运行，使其特别适用于涂层温度敏感的聚合物光学元件，这些光学元件通常用于显示器。

Spatial ALD系统中的工艺循环在空间上是分开进行的。该系统有4个独立的过程室，由压力和氮气隔开；每一个过程室都完成ALD反应步骤。然后基板旋转进入下一个腔室。通过这种方式，科学家们实现了以前只有其他涂层工艺才能实现的沉积速率。LZH表示，这种方法使该工艺特别经济，同时使光学镀膜的高产量成为可能。

用BBM可以实现精确、高效、重复的涂层。根据光学薄膜滤光片的规格改变可能的边界。LZH的高分辨率宽带监视器BBM可以改装成许多现有装置。BBM系统允许用户以高分辨率监控流程。为此，BBM连续测量当前层的层厚并控制涂层系统。通过这种方式，可以以最佳方式遵循指定的设计。

在BBM和重新设计的相互作用中，光学元件可以非常精确、高效和高再现性地进行涂覆。涂层工艺的在线重新设计已在生产中得到验证。根据用户的要求，LZH可以提供合适的系统。对于非常高的分辨率和带宽，LZH结合光谱仪和光源来设计系统，以满足用户在于波长范围和光谱分辨率方面的需求。

除了传输中的测量之外，在多个测量路径上的反射率测量也可以直接在涂层过程中捕获均匀性。此外，BBM系统为工艺分析提供了一个全面的数据库，以实现具有高再现性的最佳涂层结果。