技术加油站丨高精度与高效率的准分子激光应用

Coherent相干公司的准分子激光器因其深紫外波长和高脉冲能量的技术特点，及超高稳定性的产品优势，被广泛应用于平板显示、精密加工、医疗、汽车等大规模工业化加工当中。

■图片来源：相干公司

未来显示，加速技术开发

当前，准分子激光器在Micro-LED领域具有出色的应用潜力，凭借短波长、短脉宽、高功率、高能量的独特优势，非常适合加工Micro-LED制造中常用的III-V族材料系统。

Coherent相干公司提供从激光器、子系统到完整加工设备的全套解决方案，支持Micro-LED制程中的剥离、巨量转移和修复工艺。

Coherent相干公司的准分子激光剥离（LLO）设备可达到每个激光脉冲处理多达上万颗晶粒，最高精度可达到微米量级。此外，只有准分子激光技术可以满足透明PI材料的激光剥离工艺要求，在可预见的未来，准分子激光将继续引领最先进的激光剥离方案。

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Coherent相干公司开发出类掩膜的方式对Micro-LED进行巨量转移（LIFT），转移速度高达每秒数万颗LED，配合独有的高精度光学器件能实现2微米间距的高精准加工。目前，亚洲知名终端厂商已经采用Coherent的巨量转移设备，并装机量产。

多元化应用，前景广阔

除显示领域，准分子激光器在医疗、半导体、汽车、新能源、科研等领域同样大放异彩。从半导体光刻（先进封装微通孔）、激光原位角膜磨镶术（LASIK），到脉冲激光沉积、光纤光栅刻写、准分子激光剥蚀等，准分子激光器已成为各应用领域的重要加工工具。

12月1日，Coherent相干公司全新升级的准分子激光器测试平台将正式入驻全新升级的Coherent深圳应用实验室。届时，公司技术人员将解密准分子激光器在平板显示行业的应用拓展、准分子激光器在先进封装、半导体、医疗、汽车等领域的应用。

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同时，现场嘉宾还有机会和公司技术人员共同探索用Coherent相干公司先进的超快激光器，挑战柔性OLED的精细切割任务，开拓各类新材料的超精密加工，打造5G智能智造新时代。

Coherent相干公司深圳办事处地址：

深圳市宝安区兴业路1100号前海人寿金融中心T2栋19层1906-1909室