供需大厅

登录/注册

公众号

更多资讯,关注微信公众号

小秘书

更多资讯,关注荣格小秘书

邮箱

您可以联系我们 info@ringiertrade.com

电话

您可以拨打热线

+86-21 6289-5533 x 269

建议或意见

+86-20 2885 5256

顶部

荣格工业资源APP

了解工业圈,从荣格工业资源APP开始。

打开

柔性 MOCVD系统采用基于PC的控制技术打造模块化设备

来源:工业设备商情 发布时间:2020-10-18 759
工业金属加工智能制造其他运动控制传感器工业机器人液压与气动技术机械传动工业互联智能仓储物流仪器仪表智能加工设备 技术前沿
收藏
Agnitron 利用 Agilis 两用机开发了一套通过金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术制备半导体材料氧化镓的系统。此外,该系统还能够在需要时切换为其它材料。Agnitron 采用倍福基于 PC 的控制技术,确保满足用户在研发中小型生产设备时所需的高可靠性和灵活的可扩展性。

Agnitron利用Agilis两用机开发了一套通过金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术制备半导体材料氧化镓的系统。此外,该系统还能够在需要时切换为其它材料。Agnitron采用倍福基于PC的控制技术,确保满足用户在研发中小型生产设备时所需的高可靠性和灵活的可扩展性。


1603002041867851.jpg


改进消费电子产品中高压开关的设计和生产后,化合物半导体氧化镓(Ga2O3)有望带来广泛而令人激动的好处。然而,这种超宽带隙化合物半导体的性能和用例必须首先得到如犹他大学电气和计算机工程助理教授SriramKrishnamoorthy博士等研究人员的证实。


在研究现有金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备时存在的限制可能导致无法满足正确处理氧化镓的定制、价格或可靠性要求。在探索新系统的同时,Krishnamoorthy发现了化合物半导体研发公司Agnitron的Agilis平台。


Agnitron公司总裁兼CEOAndreiOsinsky于2008年在明尼苏达州Chanhassen创立了公司,虽然很多MOCVD设备制造商已经开始重点关注LED等大行业趋势,但Agnitron的成立是为了向需求尚未得到满足的细分市场提供新的解决方案。彼时公司已经完成了对β-氧化镓应用的研究,并开发了ImperiumMOVCD™软件以及Agnitemp™用于现场计量他们自己的系统。公司推出的Agilis两用机只需稍微调整就可以在几天时间内将生长中的β-氧化镓转换为III族氮化物半导体材料,而目前市面上其它MOCVD设备都无法提供此功能。基于PC的控制技术的模块化和灵活性简化了此款多功能平台的设计开发。


成本控制和可靠性是关键


一套新的MOCVD系统售价基本都超过100万美元。即使Agilis机可以两用,Agnitron客户投入的成本还是不低,而他们通常没有像大型半导体制造商那样的高额预算。然而,无论是在科研方面,还是在生产方面,客户的要求都在不断提高以达到高质量标准,并坚持自己的生长配方。Agnitron公司自动化和控制技术主管IvanYunchyk解释道:“我们处在一个成本竞争非常激烈的市场。我们必须以尽可能最低的价格提供多功能解决方案,每个组件同时必须具有高可靠性和可重复性。”


1603002059712747.jpg


Agnitron公司高级首席工程师DmitriVolovik博士补充道:“在这个行业收到的最好赞誉是客户说设备和以前一样好用。客户需要花费数年的开发时间和数百万美元来定义工艺流程,因此他们希望编程好的新系统能够精确维护半导体制造工艺配方,不会出现意外停机情况。”事实上,当时Agnitron公司前一家供应商提供的自动化和控制系统的可靠性出现了问题,公司正濒临失去客户的危险边缘,恰在此时,他们在总部位于明尼苏达州萨维奇附近的倍福自动化公司找到了全新的解决方案。


可为不同用户定制模块化系统


具备良好的模块化功能的倍福控制产品可以为Agilis系统提供两种不同的控制解决方案:倍福搭载四核Intel®Xeon®处理器的CX2042嵌入式控制器和搭载四核Intel®core™i7处理器的CX2040嵌入式控制器。


“我们提供标配版CX2040满足客户的研发需求。”DmitriVolovik说道:“但客户对内存和处理速度的要求越来越高。我们的Imperium软件和SQL数据库必须在同一个硬件平台上运行,以便支持更复杂的操作和更大量数据的采集以及满足Agnitemp的计量要求,而搭载Xeon®处理器和1TBSSD固态硬盘的CX2042控制器是实现全天候生产的最佳选择。”


很多翻修和改造项目可以使用价格更经济实惠的CX2040。如果现有的PLC还可以工作,公司只需简单地用倍福的C5102机架安装式工业PC取代传统PC即可。在这两种情况下,倍福硬件和软件的向后兼容性确保能够可靠地维护半导体生长配方。


1603002078503104.jpg


通过在嵌入式控制器上使用TwinCAT3自动化软件,Agnitron工程师可以通过VisualStudio用C#语言编写设备控制逻辑。由于嵌入式控制基于Windows操作系统,因此他们可以安装Imperium控制软件并在本地存储数据。通过使用基于PC的控制系统而不是单独的PC和PLC,Agilis机器在控制硬件上节省了大约10000美元。


具有实时联网能力,同时减少空间


EtherCAT的实时联网能力可以为Agilis带来更多好处。EtherCAT高密度端子模块EL3318连接Agilis和8个不同的热电偶,这在使用β-氧化镓和其它复杂半导体材料时至关重要。它们与其它16通道I/O端子模块一起让设备保持占地面积小的优点。“控制柜内部的空间变得越来越狭小,特别是一些较小的研发系统。”DmitriVolovik说道。“倍福的EtherCATI/O和嵌入式控制器的紧凑性让我们能够在众多的竞争对手中脱颖而出。”


1603002093557230.jpg


EtherCAT已经成为半导体行业占据领先地位的工业以太网,目前已经成为SEMI标准,而DeviceNet曾经是业界应用最为广泛的标准。在现有设备中,EL6752DeviceNet主站/从站端子模块用于连接EtherCAT网络和DeviceNet现场设备。正如DmitriVolovik所解释的,EtherCAT还简化了开发工作:“有了EtherCAT工业以太网和TwinCAT开发环境,集成一个DeviceNet网络只需花费数小时时间。而如果使用前一家供应商提供的解决方案,这项工作则通常需要整整一周的时间。”


研究人员SriramKrishnamoorthy认为,Agilis两用机正在改变研究机构和半导体行业的游戏规则:“目前市场上还没有一个平台能够提供这种服务。事实上,我还有一些悬而未决的提案,探索III族氮化物和氧化镓整合在超高压设备中的应用,希望这个平台能够成为我在许多其它机构进行的科研项目负担得起的选择。”


感谢倍福中国提供本文内容。


收藏
推荐新闻